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一种新型高精度压电谐振式石英体温度传感器
新闻出处: 发布时间: 2007-11-15
作 者:林冬辉 林金秋

关键词:压电谐振;石英晶体;温度测量装置;厚度切变C-型模式;蝙蝠状金属电极

中图分类号:TP212.11

文献标识码:A

文章编号:1006-883X(2005)10-016-0004

简介:

开发了一种超小型、高精密、高稳定的谐振式石英温度传感器和石英温度测量装置,其温度测量范围为-60℃~200℃,准确度为0.05℃(包括非线性、复现性、滞后和负载温度的影响误差)。文中介绍了谐振式石英温度传感器晶体切型的设计方案、结构的设计,传感器和温度测量装置特性的标定。该传感器采用了厚度切变振动C模式、Y3.78°切型的矩形双凸石英片和具有正弦波纹边缘的蝙蝠状金属电极。



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