本文首先扼要介绍了ZnO 的晶体结构以及作为压电、压敏、发光、透明导电薄膜的用途。还介绍了两种溅射方法制备ZnO 薄膜。研究了ZnO 薄膜的气敏性，发现经适当处理后仅对丙酮有择优气敏性。<p>注：本文所涉及到的项目正在申请专利，专利申请号为：200510015752.6
