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V形槽静电超声传感器静电场不均匀性研究
新闻出处: 发布时间: 2007-11-05
作 者:操文祥 葛立峰

关键词:静电超声传感器;V形槽面电荷密度;静电容

中图分类号:TP212.1

文献标识码:A

文章编号:1006-883X(2006)03-0006-004

简介:

注:国家自然科学基金资助项目(69974001);国家科技部攀登计划资助项目(国科基字[1999]045);安徽省自然科学基金资助项目(99043522)
摘要:分析V形槽静电超声传感器微气隙结构研究静电场不均匀性,用解拉普拉斯方程的方法解的单个V形槽面电荷密度。通过建立p/4角两平板电容器模型,提出V形槽静电传感器电容值的定量计算方法,得到与试验相接近的结果。



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