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| Coherent推出三款新型准分子激光器 |
| 新闻出处：电子生产设备资讯网
发布时间： 2007-11-15 |
Coherent(相干)公司推出三款新型的LAMBDA SX 系列高功率工业级准分子激光器。
LSX200C 输出波长308 nm (XeCl)，输出功率200 W；
LSX 200K 输出波长为248nm (KrF)，输出功率200 W；
LSX 300K输出波长248nm (KrF)，输出功率300 W。
上述三款激光器的输出频率高达300Hz。LAMBDA SX系列激光器特有的全固态开关特性，使得激光器具有更高可靠性；其外部谐振腔设计，增强了光束稳定性。PowerLok 技术使得脉冲运转更加稳定，TimeLok 技术使得触发更加精确，减小了时间上的抖动。LAMBDA SX系列激光器拥有强大的软件界面，提供实时控制，简化操作，电子诊断的执行以及优化保养时间。
LAMBDA SX系列定位于为每一种要求苛刻，高工作负荷的工业加工作业提供超低的运行成本。包括高产量的微加工，各种塑料以及玻璃材料的表面处理，透明传导氧化物(ITO, ZnO)的生成，薄金属膜在柔性塑料基材上的形成，薄膜淬火， 盘卷式脉冲激光沉积。LAMBDA SX 激光器与Coherent（相干）公司 MicroLas光学系统的完美结合，使得剥蚀精度最高可达2μm。 |
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