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LD激励固体激光器的特点介绍
新闻出处:电子生产设备资讯网 发布时间: 2007-11-15
    板状(工作介质为板状)YAG激光器的输出功率现已达到3kW以上,转换效率达20%。由于半导体泵浦固体激光器有很多优点,因而有望取代YAG激光器,但半导体泵浦固体激光器中的激光二极管(LD)的价格昂贵。LD的市售价现为10美元/W。要实现1kW的YAG激光器需要2.1kW的LD,这样仅LD阵列一项就超过230万日元,价格比用灯泵浦方式高出一个数量级。据有关方面估计,半导体泵浦固体激光器的价格有望在2005年下调,届时可与灯泵浦的激光器一争高低。
    1.YAG激光器的波长转换
    在YAG激光器诸多的优点中,脉宽和波长可调是其突出的优点。其基本波长为1064nm,通过非线性光学元件可以获得二次谐波(532nm)、三次谐波(355nm)和四次谐波(266nm)。其中四次谐波的波长与KrF准分子激光器的波长相近,因此可用于类似的刻蚀加工。此外YAG高倍频激光器还具有其他特点,诸如不使用危险气体、安全性高、谐振腔容易维护等。另外由于是固体激光器,因此操作容易、输出稳定。
    2、可直接用于加工的半导体激光器
    目前的LD阵列已实现了高功率。通过将LD棒叠加在一起构成LD阵列,实现了>1kW的输出功率。LD不仅可作泵浦光源,而且也可作为加工用的光源。但由于光束质量差,因而必须对聚光方法、与光纤的高效耦合方式加以改进。LD作为加工光源可以构成结构简单、高效率的激光加工系统。LD作为激光加工光源可用于焊接、表面淬火、激光熔覆及激光成型等。
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