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| 激光位移计原理 |
| 新闻出处：电子生产设备资讯网
发布时间： 2007-11-15 |
激光位移计在位移感测的传感器来说是较高贵的，但因其较不受待测物材质的限制，因此有些实验还是得忍痛采用。
一般激光位移计包含一光发射组件及一位置传感器(PSD)，利用入射及反射光间三角函数的关系来得到待测物距离。半导体激光的光源经过发设透镜将光束聚焦于待测物上，待测物反射光束经接收透镜聚焦于位置传感器(PSD)上形成一光点，此光点位置随着待测物位置改变而改变，因此位移可由此测得。
感测头位置有两种，分为镜面反射式及散射式。一般镜面反射式用于反光良好或量测距离较近的待测物上。因为这类量测时激光光的入射光角与反射光角相同，距离较远或较粗糙的量测面则用散射式的。
传统的PSD位置感测是感测投射到光点的位置，取其中心点为其位置，但取中心点的演算结果与实际位移误差较大因为光点的量度分布并不是均匀的。因此新的CCD传感器采用光点中最亮的那点为其位置，因此CCD的精度较传统的PSD为高。 |
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