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激光三角法位移测量的原理
新闻出处:电子生产设备资讯网 发布时间: 2007-11-15
    激光三角法位移测量的原理是,用一束激光以某一角度聚焦在被测物体表面,然后从另一角度对物体表面上的激光光斑进行成像,物体表面激光照射点的位置高度不同,所接受散射或反射光线的角度也不同,用CCD光电探测器测出光斑像的位置,就可以计算出主光线的角度,从而计算出物体表面激光照射点的位置高度。当物体沿激光线方向发生移动时,测量结果就将发生改变,从而实现用激光测量物体的位移。
    过去,由于成本和体积等问题的限制,其应用未能普及。随着近年来电子技术的飞速发展,特别是半导体激光器和CCD等图象探测用电子芯片的发展,激光三角侧距器在性能改进的同时,体积不断缩小,成本不断降低,正逐步从研究走向实际应用,从实验室走向实际。
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